薬液供給システムの不安定さを解消するレギュレータ

サーパス工業株式会社は、半導体製造装置・医療機器・石油プラントなどで使われている薬液供給システムとその部品であるクイックコネクターやバルブなどを取り扱う会社です。薬液供給システムは薬液を半導体製造装置・医療機器・石油プラント全体に行き渡らせなければなりません。しかし、薬液供給システムの規模が大きくなるほど安定性に欠けてきます。

薬液供給システムが不安定になる要因としては、薬液供給パイプの中に流れる薬液の脈動です。レギュレーターは脈動によって不安定となった薬液の流れを安定にする装置です。レギュレーターの1次側の薬液の圧力を制御して2次側に安定した薬液の流れをもたらします。サーパス工業株式会社のレギュレーターには手動タイプとエア操作タイプの2種類があります。